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簡述機械臂式超聲波清洗機的工作原理
發布時間:2017-09-24 13:50:38    來源:蘇州彥凱自動化科技有限公司    

簡述機械臂式超聲波清洗機的工作原理

 

 
集成電路制造業和平板顯示制造業在我國的發展很快。機械臂式超聲波清洗機作為微電子行業和平板顯示行業的關鍵的設備之一,其技術水平和清洗精度直接影響我國電子信息技術的發展。

機械臂式超聲波清洗機是鉻版制作中掩膜拋光后的高精度清洗設備。它的設計不僅充分考慮構件的強度、材料的選用、設備的操作及維護的方便,還考慮了產品的藝術造型以使外形美觀和諧。機械臂式超聲波清洗機在選用堿性溶液清洗劑與中性溶液清洗劑的基礎上,采用中、高頻超聲波清洗及高壓噴淋相結合的辦法,將工件清洗干凈,并采用純溫水提拉脫水保證鉻版干燥。

該設備主要由上下料裝置、10個清洗主槽、機械移送裝置、超純水加熱系統、空氣凈化系統及自動控制系統六個部分組成。當工件被送至上料工位時,機械臂式超聲波清洗機開始工作,并按設定程序及工藝從1號工位移送至12號工位,實現工件從粗到精,逐級清洗干凈。該產品可以用于同行業不同的工序或其他行業要求高精度清洗工序中。

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